Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
现行
2020-03-06
2020-07-01
GB/T 38447-2020
国家标准委
国家标准委
L55
31.200
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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