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微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

GB/T 38447-2020 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2020-03-06

实施日期

2020-07-01

基础信息

标准号

GB/T 38447-2020

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

专题

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