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纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

GB/T 42106-2022推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2022-12-30

实施日期

2023-07-01

基础信息

标准号

GB/T 42106-2022

批准发布部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

标准分类

中国标准分类号

A42

国际标准分类号

07.030

标准层级

国家标准

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