Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures
现行
2023-03-17
2023-07-01
GB/T 42158-2023
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
L59
31.080.99
国家标准
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