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表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准

Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

GB/T 43661-2024 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2024-03-15

实施日期

2024-10-01

基础信息

标准号

GB/T 43661-2024

批准发布部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

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