Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 36052-2018 | 表面化学分析扫描探针显微镜数据传送格式 | 现行 | 2018-03-15 | 2019-02-01 |
| GB/T 43661-2024 | 表面化学分析扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 42659-2023 | 表面化学分析扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 22461.2-2023 | 表面化学分析 词汇 第2部分： 扫描探针显微术术语 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 42543-2023 | 表面化学分析扫描探针显微术 悬臂梁法向弹性常数的测定 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| T/GAIA 033-2025 | 表面化学分析扫描探针显微镜数据储存格式 | 现行 | 2025-05-28 | 2025-06-04 |
| GB/T 47101-2026 | 表面化学分析扫描探针显微术 用原子力显微镜和两点JKR法测量柔顺材料弹性模量的程序 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| JY/T 0582-2020 | 扫描探针显微镜分析方法通则 | 现行 | 2020-09-29 | 2020-12-01 |
| GB/T 20726-2025 | 微束分析扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 45770-2025 | 表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |
| GB/T 29190-2012 | 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 | 现行 | 2012-12-31 | 2013-06-01 |
| JJF 1351-2012 | 扫描探针显微镜校准规范 | 现行 | 2012-06-18 | 2012-09-18 |
| GB/T 48076-2026 | 纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |
| GB/T 17366-2025 | 微束分析 电子探针显微分析 矿物岩石试样的制备方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 43749-2024 | 微束分析 电子探针显微分析 无水碳酸盐矿物的定量分析方法 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 32055-2015 | 微束分析 电子探针显微分析 波谱法元素面分析 | 现行 | 2015-10-09 | 2016-09-01 |
| GB/T 30705-2014 | 微束分析 电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则 | 现行 | 2014-03-27 | 2014-12-01 |
| GB/T 21636-2021 | 微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |