Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| JY/T 0584-2020 | 扫描电子显微镜分析方法通则 | 现行 | 2020-09-29 | 2020-12-01 |
| GB/T 23414-2009 | 微束分析扫描电子显微术 术语 | 废止 | 2009-04-01 | 2009-12-01 |
| GB/T 33838-2017 | 微束分析扫描电子显微术 图像锐度评估方法 | 现行 | 2017-05-31 | 2018-04-01 |
| GB/T 46057-2025 | 微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 18295-2001 | 油气储层砂岩样品 扫描电子显微镜分析方法 | 废止 | 2001-01-10 | 2001-08-01 |
| GB/T 33834-2017 | 微束分析扫描电子显微术 生物试样扫描电子显微镜分析方法 | 现行 | 2017-05-31 | 2018-04-01 |
| GB/T 47187-2026 | 微束分析 体电子显微术 生物样品的聚焦离子束-扫描电镜三维成像方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| SY/T 5162-2014 | 岩石样品扫描电子显微镜分析方法 | 废止 | 2014-10-15 | |
| SY/T 5162-1997 | 岩石样品扫描电子显微镜分析方法 | 废止 | 1997-12-31 | 1998-07-01 |
| GB/T 23414-2026 | 微束分析扫描电子显微术 术语 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 40128-2021 | 表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/T 47065-2026 | 表面化学分析表面表征 共聚焦荧光显微镜横向分辨的测量 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 33523.605-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第605部分：非接触（点自动对焦探针）式仪器的标称特性 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| GB/T 33523.602-2022 | 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性 | 现行 | 2022-12-30 | 2023-04-01 |
| DB32/T 4378-2022 | 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 | 现行 | 2022-10-23 | 2022-11-23 |
| GB/T 28873-2012 | 纳米颗粒生物形貌效应的环境扫描电子显微镜检测方法通则 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GA/T 1937-2021 | 法庭科学 橡胶检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法 | 现行 | 2021-10-14 | 2022-05-01 |
| GA/T 1939-2021 | 法庭科学 电流斑检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法 | 现行 | 2021-10-14 | 2022-05-01 |