微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法

Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM

GB/T 46057-2025 推荐性国家标准

即将实施

标准状态

发布日期

2025-08-29

实施日期

2026-03-01

基础信息

标准号

GB/T 46057-2025

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

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