Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 46057-2025 | 微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 17361-2013 | 微束分析 沉积岩中自生粘土矿物鉴定 扫描电子显微镜及能谱仪方法 | 现行 | 2013-07-19 | 2014-03-01 |
| GB/T 23414-2009 | 微束分析扫描电子显微术 术语 | 废止 | 2009-04-01 | 2009-12-01 |
| GB/T 33838-2017 | 微束分析扫描电子显微术 图像锐度评估方法 | 现行 | 2017-05-31 | 2018-04-01 |
| GB/T 20726-2025 | 微束分析扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 33834-2017 | 微束分析扫描电子显微术 生物试样扫描电子显微镜分析方法 | 现行 | 2017-05-31 | 2018-04-01 |
| GB/T 47187-2026 | 微束分析 体电子显微术 生物样品的聚焦离子束-扫描电镜三维成像方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| GB/T 23414-2026 | 微束分析扫描电子显微术 术语 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 17366-2025 | 微束分析电子探针显微分析 矿物岩石试样的制备方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 43749-2024 | 微束分析电子探针显微分析 无水碳酸盐矿物的定量分析方法 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 32055-2015 | 微束分析电子探针显微分析 波谱法元素面分析 | 现行 | 2015-10-09 | 2016-09-01 |
| GB/T 30705-2014 | 微束分析电子探针显微分析 波谱法实验参数测定导则 | 现行 | 2014-03-27 | 2014-12-01 |
| GB/T 43883-2024 | 微束分析分析电子显微术 金属中纳米颗粒数密度的测定方法 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 43088-2023 | 微束分析分析电子显微术 金属薄晶体试样中位错密度的测定方法 | 现行 | 2023-09-07 | 2024-04-01 |
| GB/T 43610-2023 | 微束分析分析电子显微术 线状晶体表观生长方向的透射电子显微术测定方法 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 43087-2023 | 微束分析分析电子显微术 层状材料截面像中界面位置的确定方法 | 现行 | 2023-09-07 | 2024-04-01 |
| GB/T 21636-2021 | 微束分析电子探针显微分析（EPMA） 术语 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 20726-2015 | 微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法 | 废止 | 2015-10-09 | 2016-09-01 |