Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GA/T 1519-2018 | 法庭科学 墨粉元素成分检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法 | 现行 | 2018-09-26 | 2018-09-26 |
| YB/T 6509-2026 | 石墨烯薄膜覆盖度测定 扫描电子显微镜法 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |
| GA/T 2338-2025 | 法庭科学 胶带检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-09-01 |
| JY/T 0582-2020 | 扫描探针显微镜分析方法通则 | 现行 | 2020-09-29 | 2020-12-01 |
| JY/T 0586-2020 | 激光扫描共聚焦显微镜分析方法通则 | 现行 | 2020-09-29 | 2020-12-01 |
| GB/T 36052-2018 | 表面化学分析扫描探针显微镜数据传送格式 | 现行 | 2018-03-15 | 2019-02-01 |
| GB/T 43661-2024 | 表面化学分析扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 42659-2023 | 表面化学分析扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 22461.2-2023 | 表面化学分析 词汇 第2部分： 扫描探针显微术术语 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| GB/T 42543-2023 | 表面化学分析扫描探针显微术 悬臂梁法向弹性常数的测定 | 现行 | 2023-05-23 | 2023-09-01 |
| T/GAIA 033-2025 | 表面化学分析扫描探针显微镜数据储存格式 | 现行 | 2025-05-28 | 2025-06-04 |
| GB/T 47101-2026 | 表面化学分析扫描探针显微术 用原子力显微镜和两点JKR法测量柔顺材料弹性模量的程序 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 34172-2017 | 微束分析电子背散射衍射 金属及合金的相分析方法 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| GB/T 17365-2025 | 微束分析 金属与合金电子探针定量分析试样的制备方法 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 30703-2014 | 微束分析电子背散射衍射取向分析方法导则 | 现行 | 2014-03-27 | 2014-12-01 |
| GB/T 41076-2021 | 微束分析电子背散射衍射 钢中奥氏体的定量分析 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 38532-2020 | 微束分析电子背散射衍射 平均晶粒尺寸的测定 | 现行 | 2020-03-06 | 2021-02-01 |
| GB/T 15246-2022 | 微束分析 硫化物矿物的电子探针定量分析方法 | 现行 | 2022-10-14 | 2023-02-01 |