石墨烯薄膜覆盖度测定 扫描电子显微镜法

本文件规定了扫描电子显微镜法测定石墨烯薄膜覆盖度的样品制备、扫描电子显微镜（SEM）测定、图像处理、覆盖度计算、不确定度评定、测定示例及测试报告。本文件适用于采用化学气相沉积法制备的生长在各种金属基底上的、由于生长原因未完全覆盖的且畴间距不大于200μm的石墨烯薄膜覆盖度的测定，采用其他方法制备的石墨烯薄膜覆盖度测定可参照本文件

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