Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 17360-2020 | 微束分析 钢中低含量硅、锰的电子探针定量分析方法 | 现行 | 2020-06-02 | 2021-05-01 |
| GB/T 19501-2013 | 微束分析电子背散射衍射分析方法通则 | 现行 | 2013-07-19 | 2014-03-01 |
| GB/T 20724-2021 | 微束分析 薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 47186-2026 | 微束分析 稀土矿物的电子探针定量分析方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| GB/T 4930-2008 | 微束分析电子探针分析 标准样品技术条件导则 | 废止 | 2008-04-11 | 2008-10-01 |
| GB/T 29190-2012 | 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 | 现行 | 2012-12-31 | 2013-06-01 |
| SJ/T 11759-2020 | 光伏电池电极栅线高宽比的测量 激光扫描共聚焦显微镜法 | 现行 | 2020-12-09 | 2021-04-01 |
| GB/T 31226-2014 | 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法 | 现行 | 2014-09-30 | 2015-04-15 |
| GB/T 47631-2026 | 光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-12-01 |
| SN/T 4388-2015 | 皮革鉴定 扫描电镜和光学显微镜法 | 现行 | 2015-12-04 | 2016-07-01 |
| JJF 1351-2012 | 扫描探针显微镜校准规范 | 现行 | 2012-06-18 | 2012-09-18 |
| GB/T 48076-2026 | 纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量 | 即将实施 | 2026-08-28 | 2027-03-01 |
| GB/T 15244-2013 | 微束分析 硅酸盐玻璃的定量分析 波谱法及能谱法 | 现行 | 2013-07-19 | 2014-03-01 |
| GB/T 38531-2020 | 微束分析 致密岩石微纳米级孔隙结构计算机层析成像（CT）分析方法 | 现行 | 2020-03-06 | 2021-02-01 |
| GB/T 17359-2023 | 微束分析 原子序数不小于11的元素能谱法定量分析 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 41074-2021 | 微束分析 用于波谱和能谱分析的粉末试样制备方法 | 现行 | 2021-12-31 | 2022-07-01 |
| GB/T 45459-2025 | 微束分析 聚焦离子束 透射电镜试样制备方法 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 18735-2014 | 微束分析分析电镜（ＡＥＭ／ＥＤＳ）纳米薄标样通用规范 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-03-01 |