Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 15247-2008 | 微束分析电子探针显微分析 测定钢中碳含量的校正曲线法 | 现行 | 2008-08-20 | 2009-04-01 |
| GB/T 34002-2017 | 微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法 | 现行 | 2017-07-12 | 2018-06-01 |
| GB/T 43889-2024 | 微束分析电子探针显微分析仪（EPMA）质量保证程序实施导则 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| GB/T 43748-2024 | 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 18907-2013 | 微束分析分析电子显微术 透射电镜选区电子衍射分析方法 | 现行 | 2013-07-19 | 2014-03-01 |
| GB/T 28634-2025 | 微束分析电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析 | 现行 | 2025-04-25 | 2025-11-01 |
| GB/T 4930-2021 | 微束分析电子探针显微分析 标准样品技术条件导则 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/T 40300-2021 | 微束分析分析电子显微学 术语 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 20725-2025 | 微束分析电子探针显微分析 波谱法定性点分析导则 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 46223-2025 | 微束分析分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 35098-2018 | 微束分析 透射电子显微术 植物病毒形态学的透射电子显微镜鉴定方法 | 现行 | 2018-05-14 | 2019-04-01 |
| GB/T 45469-2025 | 微束分析 透射电子显微术 聚合物复合材料超薄切片制备方法 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 15617-2025 | 微束分析电子探针显微分析 硅酸盐矿物的定量分析 | 即将实施 | 2025-08-29 | 2026-03-01 |
| GB/T 21638-2025 | 微束分析 钢铁材料缺陷电子束显微分析方法通则 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 47182-2026 | 微束分析分析电子显微术 核壳颗粒壳壁厚度的测量方法 | 即将实施 | 2026-02-27 | 2026-09-01 |
| GB/T 43749-2024 | 微束分析电子探针显微分析 无水碳酸盐矿物的定量分析方法（外文版EN） | 现行 | 2025-11-03 | |
| GB/T 21636-2008 | 微束分析电子探针显微分析 (EPMA) 术语 | 废止 | 2008-04-11 | 2008-10-01 |
| GB/T 28634-2012 | 微束分析电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析 | 废止 | 2012-07-31 | 2013-02-01 |