微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

GB/T 43748-2024 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2024-03-15

实施日期

2024-10-01

基础信息

标准号

GB/T 43748-2024

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

N33

国际标准分类号

71.040.40

标准层级

国家标准

专题

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