300mm半导体设备装载端口要求

Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

GB/T 44375-2024 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2024-08-23

实施日期

2025-03-01

基础信息

标准号

GB/T 44375-2024

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.260

标准层级

国家标准

专题

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