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微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法

Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

GB/T 44919-2024 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2024-11-28

实施日期

2024-11-28

基础信息

标准号

GB/T 44919-2024

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L59

国际标准分类号

31.080.99

标准层级

国家标准

专题

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