Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
现行
2024-11-28
2024-11-28
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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| GB/T 44552-2024 | 粒度分布的测定 气溶胶颗粒差分电迁移率分析法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
| GB/T 44919-2024 | 微机电系统（MEMS）技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法 | 现行 | 2024-11-28 | 2024-11-28 |