微机电系统(MEMS)技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Requirements for reliability evaluation of three-dimensional structure of through-silicon vias

GB/T 47725-2026 推荐性国家标准

即将实施

标准状态

发布日期

2026-05-25

实施日期

2026-12-01

基础信息

标准号

GB/T 47725-2026

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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