微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

GB/T 47767-2026推荐性国家标准

即将实施

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2026-07-02

实施日期

2027-02-01

基础信息

标准号

GB/T 47767-2026

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L59

国际标准分类号

31.080.99

标准层级

国家标准

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