纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings

GB/Z 43684-2024指导性技术文件

现行

标准状态

发布日期

2024-03-15

实施日期

基础信息

标准号

GB/Z 43684-2024

批准发布部门

中国科学院

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L04

国际标准分类号

07.120

标准层级

国家标准

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