现行
2014-10-14
2015-04-01
SJ/T 11469-2014
工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
L90
无
电子
行业标准
47168-2014
2014-12-26
中国科学院声学研究所
潘潮、陈守六 等
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