用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

SJ/T 11554-2015 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2015-10-10

实施日期

2016-04-01

基础信息

标准号

SJ/T 11554-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

L90

国际标准分类号

31.030

标准类别

方法标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

52022-2015

备案日期

2015-11-20

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

起草人

刘兵、钱森林、王洪华等

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