主要技术内容
本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。 本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。
现行
2020-05-27
2020-08-01
本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。 本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司
杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CACEM 15.2-04-2020 | 城市公共交通运营服务 第4部分：线路管理要求 | 现行 | 2020-06-09 | 2020-07-01 |
| T/SDAS 402-2022 | 副产氢氟酸 | 现行 | 2022-06-15 | 2022-06-30 |
| T/CNIA 0062-2020 | 电子工业用高纯氢氟酸 | 现行 | 2020-05-27 | 2020-08-01 |
| GB/T 7744-2008 | 工业氢氟酸 | 废止 | 2008-09-18 | 2009-09-01 |
| GB 7744-1998 | 工业氢氟酸 | 废止 | 1998-10-19 | 1999-04-01 |
| DB36/T 948-2017 | 氢氟酸使用与储存安全技术规范 | 废止 | 2017-10-23 | 2018-01-01 |
| HG/T 4509-2013 | 工业高纯氢氟酸 | 废止 | 2013-10-17 | 2014-03-01 |
| HG/T 4509-2023 | 工业高纯氢氟酸 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| SJ/T 11554-2015 | 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量 | 现行 | 2015-10-10 | 2016-04-01 |
| SH/T 0696-2000 | FCC平衡催化剂中镍和钒测定法（氢氟酸／硫酸分解－原子光谱分析法） | 现行 | 2000-09-11 | 2001-01-01 |
| HG/T 4335.9-2012 | 酸类物质泄漏的处理处置方法 第9部分：氢氟酸 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| YB/T 175-2017 | 金刚砂 碳化硅含量的测定 氢氟酸重量法 | 现行 | 2017-04-12 | 2017-10-01 |
| GB/T 620-2011 | 化学试剂 氢氟酸 | 现行 | 2011-05-12 | 2011-12-01 |
| DL/T 502.3-2006 | 火力发电厂水汽分析方法 第3部分：全硅的测定（氢氟酸转化分光光度法） | 现行 | 2006-05-06 | 2006-10-01 |
| GB/T 31369-2015 | 太阳电池用电子级氢氟酸 | 现行 | 2015-02-04 | 2015-10-01 |
| GB/T 27569-2011 | 氢氟酸生产技术规范 | 现行 | 2011-12-05 | 2012-05-01 |