现行
2020-12-09
2021-04-01
80907-2021
2021-03-05
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
胡松立、郑教增、冯亚彬 等
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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