200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

SJ/T 11761-2020 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2020-12-09

实施日期

2021-04-01

基础信息

标准号

SJ/T 11761-2020

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.55

标准类别

产品标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

80907-2021

备案日期

2021-03-05

适用范围

适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口

起草单位

上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等

起草人

胡松立、郑教增、冯亚彬等

专题

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