即将实施
2026-06-01
2026-12-01
108221-2026
2026-09-08
本文件规定了金刚石膜中硼掺杂含量的二次离子质谱测试方法的原理、试验条件、仪器设备、样品、测试步骤、数据处理、不确定度分析和试验报告。本文件适用于金刚石膜材料中硼掺杂含量的定量分析，测定范围为硼含量不小于5×10^13cm^3，不大于1×10^23 cm^3。
中材人工晶体研究院有限公司、中材人工晶体研究院（山东）有限公司、北京科技大学、江西欣远新材料科技有限公司、哈尔滨工业大学、广州德百顺蓝钻科技有限公司、西南技术物理研究所
曹延新、赵小玻、王玉宝、王颖、李成明、魏华阳、玄真武、刘本建、朱嘉琦、张文英、徐金昌、张伟
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 1828-2025 | 半导体材料掺杂用扩散膜 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| T/CSTM 00036-2020 | 铈掺杂铝镓酸钆闪烁晶体 | 现行 | 2020-08-03 | 2020-11-03 |
| T/CSTM 00035-2020 | 铈掺杂硅酸钇闪烁晶体 | 现行 | 2020-08-03 | 2020-11-03 |
| T/CSTM 00032-2020 | 铈掺杂硅酸钇镥闪烁晶体阵列 | 现行 | 2020-08-03 | 2020-11-03 |
| YS/T 1614-2023 | 掺杂包覆型镍钴铝酸锂 | 现行 | 2023-12-20 | 2024-07-01 |
| YS/T 1441-2021 | 掺杂型四氧化三钴 | 现行 | 2021-12-02 | 2022-04-01 |
| YS/T 1520-2022 | 掺杂型镍钴锰酸锂 | 现行 | 2022-09-30 | 2023-04-01 |
| T/CSTM 00032-2020 | 铈掺杂硅酸钇镥闪烁晶体阵列 | 现行 | 2020-08-03 | 2020-11-03 |
| T/CSTM 00035-2020 | 铈掺杂硅酸钇闪烁晶体 | 现行 | 2020-08-03 | 2020-11-03 |
| T/CSTM 00036-2020 | 铈掺杂铝镓酸钆闪烁晶体 | 现行 | 2020-08-03 | 2020-11-03 |
| GB/T 14847-2025 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| GB/T 13389-2014 | 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 | 现行 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| JC/T 3037-2026 | 金刚石氮-空位色心量子相干时间检测方法 | 即将实施 | 2026-06-01 | 2026-12-01 |