溅射用钽靶材

YS/T 1024-2015 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

YS/T 1024-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国有色金属标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H63

国际标准分类号

77.150.99

行业分类

制造业

标准类别

产品标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50322-2015

备案日期

2015-07-08

适用范围

本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）

起草单位

宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等

起草人

钟景明、李桂鹏、汪凯等

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