氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

YS/T 1392-2020 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2020-12-09

实施日期

2021-04-01

基础信息

标准号

YS/T 1392-2020

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.04

行业分类

制造业

标准类别

方法标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

81096-2021

备案日期

2021-03-09

适用范围

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。

专题

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