现行
2021-12-02
2022-04-01
85556-2022
2022-04-13
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 1434-2021 | 六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2021-12-02 | 2022-04-01 |
| JC/T 3001-2026 | 氮化硼陶瓷蒸发舟 | 即将实施 | 2026-04-16 | 2026-11-01 |
| YS/T 1826-2025 | 高纯铜蒸发料 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| T/CECA-G 0112-2021 | 高效管壳式降膜蒸发装置应用规范 | 现行 | 2021-09-24 | 2021-09-26 |
| JB/T 20103-2007 | 双效蒸发浓缩器 | 废止 | 2007-11-14 | 2008-05-01 |
| CB/T 4360-2013 | 船用直接蒸发式空调装置 | 废止 | 2013-12-31 | 2014-07-01 |