| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11566-2016 | 集成电路自动冲切成型设备 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |
| SJ/T 11576-2016 | 喷雾式涂覆设备通用规范 | 现行 | 2016-01-15 | 2016-06-01 |
| SJ/T 11183-2022 | 旋转式涂覆设备通用规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11889-2023 | 锂离子电池用辊压机 | 现行 | 2023-05-22 | 2023-08-01 |
| DB13/T 6237-2025 | 引线键合台超声单元在线调校一般要求 | 现行 | 2025-12-16 | 2026-01-16 |
| SJ/T 12024-2025 | 半导体设备 集成电路制造 用离子注入机测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |
| SJ/T 12023-2025 | 半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |