| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| SN/T 3480.4-2016 | 进口电子电工行业成套设备检验技术要求 第4部分：半导体封装测试设备 | 现行 | 2016-08-23 | 2017-03-01 |
| SJ/T 11775-2021 | 半导体材料多线切割机 | 现行 | 2021-03-05 | 2021-06-01 |
| GB/T 37466-2019 | 氮化镓激光剥离设备 | 现行 | 2019-06-04 | 2019-10-01 |
| T/ZSA 224-2024 | 半导体设备前端模块 | 现行 | 2024-04-12 | 2024-04-13 |
| T/SHMHZQ 110-2021 | 冰淇淋机器人技术规程 | 现行 | 2021-12-07 | 2021-12-10 |
| SJ/T 12024-2025 | 半导体设备 集成电路制造 用离子注入机测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |
| SJ/T 12023-2025 | 半导体设备 集成电路制造用化学气相淀积设备(CVD)测试方法 | 现行 | 2025-09-09 | 2026-03-01 |