硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method

GB/T 14146-2021推荐性国家标准

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GB/T 14146-2021 相似标准 第14页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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