硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

GB/T 19921-2018推荐性国家标准

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GB/T 19921-2018 相似标准 第10页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JC/T 970.3-2005陶瓷瓷质砖抛光技术装备 第3部分:刮平定厚机废止2005-02-142005-07-01
NY/T 2460-2013大米抛光机 质量评价技术规范废止2013-09-102014-01-01
HG/T 2571-1994抛光膏废止1994-02-091994-07-01
SB/T 10022-1992抛光糖果废止1992-11-101993-07-01
SB 10022-2001抛光糖果废止2001-12-262002-07-01
JB/T 10142-1999超声抛光机 技术条件废止1999-10-082000-03-01
DB34/T 1465-2015聚氨酯抛光衬垫片通用技术条件废止2015-08-312015-09-30
GB 3883.3-1991手持式电动工具的安全 第二部分:电动砂轮机、抛光机和盘式砂光机的专用要求 (可供认证用)废止1991-05-271992-02-01
GB/T 13843-1992蓝宝石单晶抛光衬底片废止1992-12-281993-08-01
GB 3883.4-2005手持式电动工具的安全 第二部分:非盘式砂光机和抛光机的专用要求废止2005-02-062005-08-01
GB/T 3883.4-2012手持式电动工具的安全 第2部分:非盘式砂光机和抛光机的专用要求废止2012-11-052013-05-01
DB44/T 1086-2012蒸压陶瓷抛光潭砖废止2011-12-252012-03-31
GB/T 47927-2026半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘即将实施2026-07-302027-02-01
T/SHXCL 0004-2021无纺布/聚氨酯复合抛光垫现行2021-04-122021-05-30
T/GDACERCU 0016.2-2021废酸综合利用技术规范 第2部分:再生抛光液现行2021-01-062021-01-06
T/GDRA 012-2019互感器模具机器人抛光打磨技术要求标准现行2019-12-202019-12-26
T/DZYX 003-2019玉器抛光 工艺现行2019-10-102019-11-10
T/NBEA 002-2019铝化学抛光专用酸标准现行2019-08-102019-09-12