硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

GB/T 19921-2018推荐性国家标准

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上传时间:2026-03-16
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GB/T 19921-2018 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JB/T 9334-1999显微镜光谱滤光片 基本规格废止1999-08-062000-01-01
HG/T 4185-2011偏光片用聚乙烯醇(PVA)薄膜废止2011-12-202012-07-01
JB/T 5590-1991光谱仪器用滤光片废止1991-07-161992-07-01
HG/T 4150-2010偏光片用三醋酸纤维素酯(TAC)薄膜废止2010-11-102011-03-01
GB/T 26601-2011显微镜 光谱滤光片废止2011-06-162011-11-01
JB/T 15099-2025低角度偏移红外带通滤光片现行2025-05-092025-11-01
ZJM-004-3713-2021智能手机用红外截止蓝玻璃滤光片现行2021-09-232021-09-23
T/COEMA 002LCD-2022薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用低透湿性偏光片现行2022-11-182022-11-18
JB/T 11532-2026线性渐变中性密度滤光片即将实施2026-02-132026-09-01
JJG 812-1993干涉滤光片现行1993-02-131993-06-01
GB/T 36082-2018纳米技术 特定毒性筛查用金纳米颗粒表面表征 傅里叶变换红外光谱法现行2018-03-152018-10-01
T/CSP 16-2024颗粒技术 实验室间比对指南 气体 物理吸附仪(BET)比表面积检测现行2024-11-182024-11-25
GB/T 11986-1989表面活性剂 粉体和颗粒休止角的测量现行1989-12-251990-12-01
YS/T 1754-2025颗粒硅表面粉尘的测定 浊度法现行2025-04-102025-11-01
GB/Z 129-2026表面化学分析 电子能谱 纳米颗粒包覆层厚度和组成的测量现行2026-01-28
T/BSPT 9-2024颗粒技术 实验室间比对指南 气体 物理吸附仪(BET)比表面积检测现行2024-11-182024-11-25
YS/T 1864-2026流化床法颗粒硅表面金属含量的测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法即将实施2026-04-152026-11-01
GB/T 20166.1-2012稀土抛光粉化学分析方法 第1部分:氧化铈量的测定 滴定法现行2012-11-052013-05-01