硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

GB/T 19921-2018推荐性国家标准

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GB/T 19921-2018 相似标准 第7页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 22665.3-2008手持式电动工具手柄的振动测量方法 第3部分:砂轮机、抛光机和盘式砂光机现行2008-12-302009-10-01
GB/T 22665.4-2008手持式电动工具手柄的振动测量方法 第4部分:非盘式砂光机和抛光机现行2008-12-302009-10-01
YB/T 4377-2014金属试样的电解抛光方法现行2014-05-062014-10-01
GB/T 26548.8-2021手持便携式动力工具 振动试验方法 第8部分:往复式锯、抛光机和锉刀以及摆式或回转式锯现行2021-10-112022-05-01
GB/T 26548.3-2017手持便携式动力工具 振动试验方法 第3部分:抛光机,回转式、滑板式和复式磨光机现行2017-05-122017-12-01
GB/T 20166.2-2012稀土抛光粉化学分析方法 第2部分:氟量的测定 离子选择性电极法现行2012-11-052013-05-01
DB44/T 530-2008南珠抛光技术规范废止2008-07-112008-10-01
NY/T 3362-2018畜禽屠宰加工设备 猪抛光机现行2018-09-302019-01-01
GB/T 26065-2010硅单晶抛光试验片规范现行2011-01-102011-10-01
GB/T 20165-2025稀土抛光粉现行2025-08-012026-02-01
GB/T 39407-2020研磨抛光机器人系统 通用技术条件现行2020-11-192021-06-01
GB/T 30712-2014抛光钻石质量测量允差的规定现行2014-03-272014-10-01
GB/T 4127.11-2008固结磨具 尺寸 第11部分:手持抛光磨石现行2008-06-032009-01-01
GB/T 18311.30-2007纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第3-30部分:检查和测量 单套管多芯光纤连接器抛光角度和光纤位置现行2007-06-292007-11-01
GB/T 20016-2005金属和其它无机覆盖层 不锈钢部件平整和钝化的电抛光法现行2005-10-122006-04-01
GB/T 18311.16-2007纤维光学互连器件和无源器件 基本试验和测量程序 第3-16部分:检查和测量 球面抛光套管端面半径废止2007-06-292007-11-01
GB/T 3883.3-2007手持式电动工具的安全 第二部分:砂轮机、抛光机和盘式砂光机的专用要求废止2007-01-302007-09-01
GB/T 34788-2017粮油机械 大米抛光机现行2017-11-012018-05-01