微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

GB/T 38447-2020推荐性国家标准

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GB/T 38447-2020 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
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