| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 31058-2014 | 电子工业用气体 四氟化硅 | 现行 | 2014-12-22 | 2015-07-01 |
| GB/T 15909-2017 | 电子工业用气体 硅烷 | 现行 | 2017-05-31 | 2017-12-01 |
| DB35/T 1248-2012 | 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2012-05-04 | 2012-08-05 |
| GB/T 31986-2015 | 电子工业用气体 八氟丙烷 | 现行 | 2015-09-11 | 2016-05-01 |
| GB/T 33774-2017 | 电子工业用气体 丙烯 | 现行 | 2017-05-31 | 2017-12-01 |
| GB/T 31987-2015 | 电子工业用气体 锗烷 | 现行 | 2015-09-11 | 2016-05-01 |
| GB/T 34085-2017 | 电子工业用气体 三氟甲烷 | 现行 | 2017-07-31 | 2017-11-01 |
| GB/T 34972-2017 | 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 34091-2017 | 电子工业用气体 六氟乙烷 | 现行 | 2017-07-31 | 2017-11-01 |
| GB/T 32386-2015 | 电子工业用气体 六氟化钨 | 现行 | 2015-12-31 | 2016-07-01 |
| GB/T 26249-2010 | 电子工业用气体 硒化氢 | 现行 | 2011-01-14 | 2011-05-01 |
| T/DLSHXH 007-2020 | 电子工业用气体 氧硫化碳 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-10-30 |
| T/DLSHXH 006-2020 | 电子工业用气体 硫化氢 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-10-30 |
| T/DLSHXH 005-2020 | 电子工业用气体 溶解乙炔 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-10-30 |
| T/DLSHXH 004-2020 | 电子工业用气体 二氧化碳 | 现行 | 2020-09-30 | 2020-10-30 |
| T/DLSHXH 002-2018 | 电子工业用气体 一氧化氮 | 现行 | 2018-09-18 | 2018-09-28 |
| GB/T 14602-2014 | 电子工业用气体 氯化氢 | 废止 | 2014-12-22 | 2015-07-01 |
| GB/T 18994-2014 | 电子工业用气体 高纯氯 | 废止 | 2014-12-22 | 2015-07-01 |