硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

GB/T 28275-2012推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-19
格式:pdf

GB/T 28275-2012 相似标准 第10页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 23362.3-2009高纯氢氧化铟化学分析方法 第3部分:锑量的测定 原子荧光光谱法现行2009-03-192010-01-01
YY/T 0824-2011牙科氢氧化钙盖髓、垫底材料现行2011-12-312013-06-01
SY/T 7506-1996天然气中二氧化碳含量的测定 氢氧化钡法现行1996-12-311997-09-01
SH/T 0267-1992润滑油氢氧化钠抽出物的酸化试验法现行1992-05-201992-05-20
GB/T 29643-2013工业用氢氧化钠 实验室样品和进行项目测定用主溶液的制备现行2013-09-062014-01-31
GB/T 11200.2-2008高纯氢氧化钠试验方法 第2部分:三氧化二铝含量的测定 分光光度法现行2008-06-182009-02-01
GB/T 22651-2008工业用氢氧化钠 汞含量的测定 分光光度法现行2008-12-302009-08-01
GB/T 22650-2008工业用氢氧化钠 钙镁总含量的测定 络合滴定法现行2008-12-302009-08-01
GB/T 11200.3-2008高纯氢氧化钠试验方法 第3部分:钙含量的测定 火焰原子吸收法现行2008-06-182009-02-01
GB/T 11064.8-2013碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第8部分:硅量的测定 钼蓝分光光度法现行2013-09-272014-08-01
YS/T 1152-2016粗氢氧化钴现行2016-07-112017-01-01
YS/T 1157.2-2016粗氢氧化钴化学分析方法 第2部分:镍、铜、铁、锰、锌、铅、砷和镉量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2016-07-112017-01-01
YS/T 1157.1-2016粗氢氧化钴化学分析方法 第1部分:钴量的测定 电位滴定法现行2016-07-112017-01-01
YS/T 1157.4-2016粗氢氧化钴化学分析方法 第4部分:锰量的测定 电位滴定法现行2016-07-112017-01-01
YS/T 1127-2016镍钴铝三元素复合氢氧化物现行2016-07-112017-01-01
YS/T 1157.3-2016粗氢氧化钴化学分析方法 第3部分:钙量和镁量的测定 火焰原子吸收光谱法和电感耦合等离子体原子发射光谱法现行2016-07-112017-01-01
JT/T 1149-2017道路沥青用层状复合金属氢氧化物耐紫外光老化剂现行2017-07-042017-11-01
GB/T 11064.12-2013碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第12部分:碳酸根量的测定 酸碱滴定法现行2013-09-272014-08-01