硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法

Test method for oxygen precipition characteristics of silicon wafers—Interstitial oxygen reduction

GB/T 19444-2025推荐性国家标准

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GB/T 19444-2025 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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