硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

GB/T 32816-2016推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-11
格式:pdf

GB/T 32816-2016 相似标准 第9页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
YD/T 2628.1-2015演进的移动分组核心网络(EPC)设备技术要求 第1部分:支持E-UTRAN接入废止2015-07-142015-10-01
YD/T 2620.1-2015演进的移动分组核心网络(EPC)总体技术要求 第1部分:支持E-UTRAN接入废止2015-07-142015-10-01
YD/T 2628.2-2013演进的移动分组核心网络(EPC)设备技术要求 第2部分:支持CDMA接入废止2013-10-172014-01-01
YD/T 2628.1-2013演进的移动分组核心网络(EPC)设备技术要求 第1部分:支持E-UTRAN接入废止2013-10-172014-01-01
YD/T 1675-20072GHz cdma2000数字蜂窝移动通信网广播多播业务(BCMCS)设备技术要求:核心网废止2007-05-152007-05-15
YD/T 1454-2006IPv6网络设备技术要求——支持IPv6的核心路由器废止2006-06-082006-10-01
DB2311/T 085-2024黑河马核心群组建与选育技术规范废止2024-12-182025-01-18
DB37/T 3125-2018种猪核心育种场育种技术规范废止2018-02-022018-03-02
GB/T 30278-2013信息安全技术 政务计算机终端核心配置规范废止2013-12-312014-07-15
GB/T 35283-2017信息安全技术 计算机终端核心配置基线结构规范废止2017-12-292018-07-01
DB32/T 1310-2008水稻低温敏不育系培矮64S核心种子生产技术规程废止2008-12-182009-02-18
DB37/T 1929-2011山东省荷斯坦母牛育种核心群选择技术规范废止2011-09-162011-11-01
T/DSIA 0603-2021软件和信息技术服务企业核心竞争力评估规范现行2021-01-152021-02-15
T/CCSA 213-2018M2M技术要求(第一阶段)服务层核心协议现行2018-07-242018-07-24
YD/T 1906-2009IPv6网络设备安全技术要求——核心路由器现行2009-06-152009-09-01
YD/T 2621-2013演进的移动分组核心网络(EPC)策略和计费规则功能设备技术要求现行2013-10-172014-01-01
YD/T 6578-20255G移动通信网 邻近通信(ProSe)核心网设备技术要求现行2025-12-172026-04-01
YD/T 2622-2013演进的移动分组核心网络(EPC)接口技术要求 S3/S4/S5/S8/S10/S11/S16现行2013-10-172014-01-01