硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

GB/T 32816-2016推荐性国家标准

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GB/T 32816-2016 相似标准 第11页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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YD/T 7101.2-2026基于4G/5G核心网与IMS域数据的语音业务关联分析系统技术要求 第2部分:语音质量分析功能即将实施2026-07-152026-11-01
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YD/T 7125-2026支持卫星接入的5G核心网技术要求(第二阶段)即将实施2026-07-152026-11-01
YD/T 7126-20265G移动通信网 支持轻量化(RedCap)终端的增强核心网技术要求和测试方法即将实施2026-07-152026-11-01
YD/T 7151-2026面向5G核心网的云网融合 总体技术要求即将实施2026-07-152026-11-01
DB15/T 4508-2026奶牛核心群建立及选配策略技术规程现行2026-09-102026-10-10
DB14/T 2531-2022离散型制造工艺数据分类及编码要求现行2022-09-022022-12-01
GB/T 40019-2021基础制造工艺通用元数据现行2021-04-302021-11-01
GB/T 43481-2023增材制造 三维工艺模型数据质量要求现行2023-12-282023-12-28
QC/T 1185-2023汽车零部件再制造 热喷涂修复工艺规范现行2023-04-212023-11-01
DZ/T 0415-2022珠宝玉石饰品制造工艺术语现行2022-09-152023-01-01
GB/T 4863-2008机械制造工艺基本术语现行2008-07-092009-02-01
HB 8746-2023航空钛合金零件激光选区熔化增材制造工艺控制要求现行2023-12-292024-07-01
GB/T 37463-2019增材制造 塑料材料粉末床熔融工艺规范现行2019-05-102019-12-01
GB/T 24738-2009机械制造工艺文件完整性现行2009-11-302010-09-01
GB/T 22124.3-2010面向装备制造业 产品全生命周期工艺知识 第3部分:通用制造工艺描述与表达规范现行2010-09-022010-12-01