硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

GB/T 32816-2016推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-11
格式:pdf

GB/T 32816-2016 相似标准 第13页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
JB/T 5992.4-1992机械制造工艺方法分类与代码 焊接现行1992-07-171993-07-01
GB/T 45858-2025增材制造 冷喷涂工艺规范现行2025-08-012025-11-01
GB/T 45753-2025增材制造 功能梯度增材制造工艺规范现行2025-05-302025-12-01
YY/T 1809-2021医用增材制造 粉末床熔融成形工艺金属粉末清洗及清洗效果验证方法现行2021-09-062022-09-01
DB5101/T 168-2023汽车零部件及配件制造企业计算机辅助工艺设计软件测试指南现行2023-12-042023-12-04
GB/T 45751-2025增材制造工艺分类和编码现行2025-05-302025-12-01
GB/T 39334.5-2020机械产品制造过程数字化仿真 第5部分:典型工艺仿真要求现行2020-11-192021-03-01
GB/T 42619-2023增材制造工艺参数库构建规范现行2023-05-232023-12-01
GB/T 44771-2024压水堆核燃料组件制造工艺和产品合格性鉴定要求现行2024-10-262025-02-01
GB/T 39247-2020增材制造 金属制件热处理工艺规范现行2020-11-192021-06-01
JB/T 12741-2016再制造内燃机 凸轮轴工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12739-2016再制造内燃机 气门工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12744-2016再制造内燃机 起动机工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12742-2016再制造内燃机 压气机工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12736-2016再制造内燃机 喷油泵总成工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12733-2016再制造内燃机 飞轮工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12732-2016再制造内燃机 发电机工艺规范现行2016-04-052016-09-01
JB/T 12737-2016再制造内燃机 喷油器总成工艺规范现行2016-04-052016-09-01