硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process

GB/T 32816-2016推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-03-11
格式:pdf

GB/T 32816-2016 相似标准 第15页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 42621-2023增材制造 定向能量沉积-铣削复合增材制造工艺规范现行2023-05-232023-05-23
T/CAMDI 169-2026增材制造 激光粉末床熔融钛合金植入物制件热处理的工艺控制和确认现行2026-01-052026-01-05
T/CWAN 0129-2024不锈钢多向钢节点电弧熔丝增材制造推荐工艺规范现行2024-11-262024-12-01
T/CWAN 0128-2024铝合金车辆转向架电弧熔丝增材制造推荐工艺规范现行2024-11-262024-12-01
T/CFA 0103091-2020铝合金压铸产品绿色制造工艺通则现行2020-12-152021-01-24
T/CSNAME 014-2020船用柴油机涡轮增压器压气机叶轮制造工艺绿色评价方法现行2020-11-022021-02-01
T/ZSA 171-2023增材制造 铝合金激光粉末床熔融工艺规范现行2023-11-092023-11-10
T/ZHAA 3-2023增材制造 SLA 制备翻砂鞋模的工艺及要求现行2023-12-292024-01-01
T/CAMDI 139-2025增材制造 数字光处理磷酸钙生物陶瓷的工艺控制和确认现行2025-01-032025-01-05
T/CASMES 398-2024透明塑料变速箱壳体制造工艺规范现行2024-10-292024-11-05
T/CAMDI 093-2022医用增材制造 光固化成形工艺控制和确认要求现行2022-12-302023-01-01
T/GDCKCJH 040-2021一体化成型微电机壳体产品制造工艺规范现行2021-11-252021-12-01
T/SZS 4021-2020珠宝首饰制造工艺术语现行2020-05-152020-05-15
GB/T 45753-2025增材制造 功能梯度增材制造工艺规范(外文版EN)现行2025-12-09
YY/T 1909-2023医用增材制造 金属粉末床电子束熔融工艺控制和确认要求现行2023-09-052024-09-15
MT/T 1326-2025矿用设备再制造 激光熔覆工艺规范现行2025-12-182026-06-18
JB/T 5060-1991工艺装备制造与使用管理导则废止1991-05-171992-07-01
DB34/T 2843-2017高温超导叠制造工艺及试验方法废止2017-03-302017-04-30