硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area

GB/T 28277-2012推荐性国家标准

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GB/T 28277-2012 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 33334-2026胶粘剂 单搭接拉伸剪切强度试验方法即将实施2026-07-022027-02-01
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SY/T 0041-2012防腐涂料与金属粘结的剪切强度试验方法废止2012-08-232012-12-01
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MH/T 6099-2013密封剂搭接剪切强度试验方法废止2013-09-102014-01-01