| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/DLSHXH 008-2022 | 电子特气 双(二乙基氨基)硅烷 | 现行 | 2022-09-30 | 2022-10-20 |
| T/FSI 107-2023 | 乙烯基三甲基硅烷 | 现行 | 2023-03-31 | 2023-04-30 |
| T/FSI 106-2023 | 六甲基二硅烷 | 现行 | 2023-03-31 | 2023-04-30 |
| T/FSI 112-2023 | 乙烯基三甲氧基硅烷 | 现行 | 2023-03-31 | 2023-04-30 |
| YS/T 1825-2025 | 集成电路用四甲基硅烷 | 即将实施 | 2025-12-17 | 2026-07-01 |
| SJ/T 12052-2025 | 电子级乙硅烷 | 即将实施 | 2025-12-19 | 2026-07-01 |
| HG/T 6520-2026 | 3-异氰酸酯基丙基三烷氧基硅烷 | 即将实施 | 2026-07-15 | 2027-02-01 |