纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

GB/T 42106-2022推荐性国家标准

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标准号标准名称状态发布日期实施日期
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