| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 1811-2025 | 高纯钛铝合金靶材 | 现行 | 2026-03-01 | 找相似 |
| YS/T 1683-2024 | 磁记录用铬钛合金溅射靶材 | 现行 | 2024-10-01 | 找相似 |
| YS/T 1764-2025 | 锇靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| YS/T 1780-2025 | 氧化铟镓锌靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| YS/T 1776-2025 | 热敏打印用碳-碳化硅靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| YS/T 1729-2025 | 钼合金靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| YS/T 1725-2025 | 钒及钒合金靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| XB/T 512-2020 | 镝、铽金属靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| T/CSRE 19001-2020 | 金属镱靶材 | 现行 | 2020-11-20 | —— |
| T/NXCL 004-2021 | 旋转硅靶材 | 现行 | 2021-11-11 | —— |
| T/NXCL 003-2021 | 平面硅锗靶材 | 现行 | 2021-11-11 | —— |
| T/CAS 304-2018 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 | 现行 | 2018-05-29 | —— |
| YS/T 937-2025 | 镍铂靶材 | 即将实施 | 2026-07-01 | 找相似 |
| XB/T 525-2026 | 高纯金属镱靶材 | 即将实施 | 2026-11-01 | 找相似 |
| YS/T 1851-2026 | 铂钴铬二氧化硅溅射靶材 | 即将实施 | 2026-11-01 | 找相似 |
| JC/T 3028-2026 | 高纯石墨靶材 | 即将实施 | 2026-12-01 | 找相似 |
| XB/T 530-2026 | 高纯金属镧靶材 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| XB/T 531-2026 | 铽/镝旋转靶材 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |