| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 1555-2022 | 铂钴铬硼合金溅射靶材 | 现行 | 2023-04-01 | 找相似 |
| YS/T 1357-2020 | 磁记录用铬钽钛合金溅射靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| YS/T 1616-2023 | 氧化铟锌靶材 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| YS/T 1235-2018 | 钼钛合金（MoTi）靶材 | 现行 | 2018-09-01 | 找相似 |
| YS/T 1234-2018 | 铬钼合金（CrMo）靶材 | 现行 | 2018-09-01 | 找相似 |
| XB/T 515-2020 | 钪铝合金靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| JC/T 2201-2013 | 镀膜玻璃用靶材 | 废止 | 2014-03-01 | 找相似 |
| DB35/T 1873-2019 | 热喷涂旋转硅靶材通用技术条件 [福建省] | 废止 | 2020-03-19 | 找相似 |
| GB/T 20510-2006 | 氧化铟锡靶材 | 废止 | 2007-02-01 | 找相似 |
| GB/T 23611-2009 | 金靶材 | 废止 | 2010-02-01 | 找相似 |
| GB/T 20510-2017 | 氧化铟锡靶材 | 废止 | 2018-05-01 | 找相似 |
| T/CSRE 19001-2020 | 金属镱靶材 | 现行 | 2020-11-20 | —— |
| T/ZZB 0639-2018 | 氧化锌铝磁控溅射靶材 | 现行 | 2018-11-01 | —— |
| T/CAS 304-2018 | 磁控溅射硅靶材及绑定靶材 | 现行 | 2018-05-29 | —— |
| T/ZZB 0093-2016 | 集成电路用高纯钛溅射靶材 | 现行 | —— | —— |
| YS/T 1711-2024 | 氧化铟锡靶材绑定技术规范 | 现行 | 2025-05-01 | 找相似 |
| XB/T 524-2023 | 高纯金属钇靶材 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| XB/T 522-2023 | 稀土靶材回收料 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |