| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 936-2013 | 集成电路器件用镍钒合金靶材 | 现行 | 2014-03-01 | 找相似 |
| YS/T 1129-2016 | 钨钛合金靶材 | 现行 | 2017-01-01 | 找相似 |
| GB/T 39159-2020 | 集成电路用高纯铜合金靶材 | 现行 | 2021-10-01 | 找相似 |
| GB/T 23611-2023 | 金及金合金靶材 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| YS/T 1635-2023 | 镍铬合金靶材 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| XB/T 515-2020 | 钪铝合金靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 找相似 |
| GB/T 23611-2009 | 金靶材 | 废止 | 2010-02-01 | 找相似 |
| YS/T 1811-2025 | 高纯钛铝合金靶材 | 现行 | 2026-03-01 | 找相似 |
| YS/T 1729-2025 | 钼合金靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| YS/T 1725-2025 | 钒及钒合金靶材 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| XB/T 532-2026 | 钕铝合金靶材 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 43603.1-2023 | 镍铂靶材合金化学分析方法 第1部分:铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| GB/T 39157-2020 | 靶材技术成熟度等级划分及定义 | 现行 | 2021-10-01 | 找相似 |
| GB/T 45130-2025 | 氧化锌铝靶材 | 现行 | 2025-08-01 | 找相似 |
| GB/T 26307-2025 | 银靶材 | 即将实施 | 2026-03-01 | 找相似 |
| GB/T 43603.3-2024 | 镍铂靶材合金化学分析方法 第3部分：碳含量的测定 高频红外检测法 | 现行 | 2024-10-01 | 找相似 |
| GB/T 39163-2020 | 靶材与背板结合强度测试方法 | 现行 | 2021-10-01 | 找相似 |
| GB/T 44759-2024 | 高纯镍靶材 | 现行 | 2025-05-01 | 找相似 |