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集成电路用高纯铜合金靶材

High purity copper alloy target for integrated circuit

GB/T 39159-2020推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2020-11-19

实施日期

2021-10-01

基础信息

标准号

GB/T 39159-2020

批准发布部门

中国有色金属工业协会

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国有色金属工业协会

标准分类

中国标准分类号

H62

国际标准分类号

77.150.30

标准层级

国家标准

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