集成电路用高纯钛溅射靶材

本标准规定了集成电路用高纯钛溅射靶材的术语、定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量承诺和服务保证。本标准适用于集成电路中制造电子薄膜用的各类钛溅射靶材。

本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。本标准主要起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司。本标准参与起草单位：宁波创润新材料有限公司。