集成电路用过氧化氢

本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。

本标准规定了集成电路用过氧化氢产品的性状要求、技术规格和指标；含量测定、色度测定、酸度测定、总有机碳测定、阴离子测定、金属离子测定、颗粒测定等测定方法；还规定了检验规则，及标志、包装、运输和储存要求等。

苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。