集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范

本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。

本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。

中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。